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时间: 2025-05-07 05:27:00 | 作者: 白光干涉仪
阿斯麦的首席执行官彼得·温宁克在财报会议上三次提及“中国速度”时,全球半导体行业就察觉到了不同寻常之处。于刚刚落幕的SEMICON China 2025展会里,创立仅四年的新凯来科技凭借一组极具震撼力的数据,让国外媒体不禁大喊“狼真的来了”——它的深紫外光刻(DUV)设备不但达成了零的跨越,而且促使企业年度业绩猛增268倍!需明白,这就如同将阿斯麦耗费二十年打磨的技术,被压缩进了中国制造的“四年奇迹”之中。
在展台的聚光灯照耀之下,那台有着“峨眉山”代号的外延沉积设备,正静静地谱写着中国半导体人逆袭的篇章。作为芯片制造的基础性工程,此类设备一直以来都被应用材料、东京电子所垄断。新凯来的首席技术官李博士对笔者讲道:“我们达成了沉积速率±1%的精度掌控,这就如同在仅有头发丝直径万分之一大小的尺度上进行刺绣。”(注:外延沉积是在晶圆表面生长单晶薄膜的核心工艺,这一工艺必然的联系到芯片的性能)
新凯来所具备的“国家队”基因更耐人寻味。董事长戴军同时担任国家大基金二期监事,这种“产投研”的稳固组合模式,使得企业自创立之初便承载着冲破技术封锁的重任。笔者注意到,其设备铭牌上的“华为联合实验室认证”标志,表明这条供应链已经融入国产芯片制造的关键领域。
SEMI的最新数据将行业内潜藏的趋势揭示出来:2024年,全球半导体市场会强劲反弹20%,与此同时,AI算力需求正在以每年翻番的速度迅猛增长。在这样的发展形态趋势下,新凯来选取了一条“农村包围城市”式的发展路径,那就是先将28nm成熟制程的DUV设备(需要说明的是,目前全球75%的芯片制造依赖DUV光刻机)攻克,之后再朝着7nm以下的EUV高端领域进军。这种策略和中芯国际的扩产规划是相契合的,要清楚,单是中芯京城工厂的28nm产能,就足以消化新凯来当下50%的产能。
在新凯来的展台处,笔者意外碰到了至纯科技的技术团队。这个国内清理洗涤设施领域处于领头羊的企业,其工作人员透露:“我们的硫酸清理洗涤设施当前每小时可处理300片12英寸的晶圆,良品率与日本迪恩士相当。”在光学组件区域,长春光机所展出的激光干涉仪,其精度达到0.1纳米级,这就好比测量地球到月球的距离时,误差不会超过一根头发丝的宽度。
资本市场虽已把新凯来称作“光刻机第一股”,可笔者在走访时发觉,真正的攻坚之战才刚刚拉开序幕。就拿EUV所需要的13.5nm极紫外光源来说,当前在全世界内仅有阿斯麦能够稳定地进行量产。然而,有业内的人表示,深圳的某家企业已经拿下了高功率CO2激光器技术,这仿若给中国半导体添上了“第二引擎”。
从历史的角度来看,回顾2000年汉芯事件所带来的沉重教训,再到如今新凯来在DUV方面取得的突破,中国的半导体产业正在摆脱“造不如买”这种思维模式。就像比尔·盖茨所预言的那样:“美国永远没办法阻止中国拥有强大芯片”,当国家大基金二期携2000亿资金投入其中的时候,这场科技方面的博弈也许才刚刚步入精彩的阶段。
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